多片式衬底HFCVD系统沉积金刚石颗粒物理场的仿真优化 - 杨海霞; 伏明将; 罗健; 张韬 (金刚石与磨料磨具工程, 2023)
Keywords: 优化模型; FLUENT simulation software; 金刚石颗粒均匀生长; hot filament chemical vapor deposition(HFCVD); FLUENT仿真软件; optimized model; uni-form growth of diamond particles; 热丝化学气相沉积法