氧化铪基铁电薄膜相结构调控的研究进展 - 李彦; 郭媛媛; 梁海龙; 张建婷; 王兴刚; 刘书棋; 辛宁 (工程科学学报, 2024)
Keywords: ferroelectric film; 相调控; film thickness; oxygen vacancy; hafnium oxide; phase regulation; 氧化铪; 铁电薄膜; 膜厚; 氧空位