面向纳米尺度金属互连线的蒙特卡洛模拟方法研究 - 胡远钊; 杜刚; 杨燚; 赵钰迪; 赵凯 (北京大学学报（自然科学版）, 2022)
Keywords: 蒙特卡洛方法; 电阻率; 金属互连; 散射