集成电路废水的达标排放、资源回收和再生处理

X703.1; 集成电路产业是支撑经济社会发展的战略性、先导性产业,其用水量和排水量均较高.分析了集成电路废水的水质特征,主要包括各生产环节产生的含氨、含氟、酸碱、有机、含铜和研磨废水.针对含不同物质废水,总结了废水达标排放、资源回收和再生处理技术的应用现状与研究进展.在废水达标排放方面,实际工程中常采用混凝沉淀、过滤和吸附等处理含氟、含铜和研磨废水;采用活性污泥法、膜生物反应器、水解酸化和内循环厌氧反应器等处理含氨和有机废水;近年来磁混凝和高级氧化等技术也备受关注.在资源回收方面,目前主要采用超滤和电渗析等技术回收氟、铜和四甲基氢氧化铵等.废水回用方面,主要采用混凝沉降,膜生物反应器和膜过滤...

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Published in工业水处理 Vol. 44; no. 4; pp. 1 - 9
Main Authors 肖卓远, 黄南, 巫寅虎, 张倬玮, 徐雨晴, 吴乾元, 王文龙, 熊江磊, 罗嘉豪, 廖翔, 胡洪营
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 清华苏州环境创新研究院,江苏苏州 215163 01.04.2024
清华大学环境学院,环境模拟与污染控制国家重点联合实验室,生态环境部环境微生物利用与安全控制重点实验室,环境前沿技术北京实验室,北京 100084%北京工业大学,城镇污水深度处理与资源化利用技术国家工程实验室,北京 100124%清华大学深圳国际研究生院,生态环境部环境微生物利用与安全控制重点实验室,广东深圳 518055%中国电子系统工程第二建设有限公司,江苏无锡 214135%清华大学环境学院,环境模拟与污染控制国家重点联合实验室,生态环境部环境微生物利用与安全控制重点实验室,环境前沿技术北京实验室,北京 100084
Subjects
再生处理
处理技术和工艺
integrated circuit wastewater
资源回收
up-to-standard discharge
resource recovery
treatment tech-nology and process
集成电路废水
reclamation
达标排放
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ISSN1005-829X
DOI10.19965/j.cnki.iwt.2023-0423

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Summary:X703.1; 集成电路产业是支撑经济社会发展的战略性、先导性产业,其用水量和排水量均较高.分析了集成电路废水的水质特征,主要包括各生产环节产生的含氨、含氟、酸碱、有机、含铜和研磨废水.针对含不同物质废水,总结了废水达标排放、资源回收和再生处理技术的应用现状与研究进展.在废水达标排放方面,实际工程中常采用混凝沉淀、过滤和吸附等处理含氟、含铜和研磨废水;采用活性污泥法、膜生物反应器、水解酸化和内循环厌氧反应器等处理含氨和有机废水;近年来磁混凝和高级氧化等技术也备受关注.在资源回收方面,目前主要采用超滤和电渗析等技术回收氟、铜和四甲基氢氧化铵等.废水回用方面,主要采用混凝沉降,膜生物反应器和膜过滤技术;反渗透技术是废水再生处理的核心,其目标是制备工业纯水用于集成电路制造.最后针对集成电路废水处理系统现存的问题,建议完善废水分类分质收集系统;强化去除重金属和难降解有机物,降低废水的生物毒性;使用预处理、污堵监测、膜清洗、开发新型膜材料等方法控制反渗透膜的污堵.
ISSN:1005-829X
DOI:10.19965/j.cnki.iwt.2023-0423