基于黑硅微结构的全硅PIN光电探测器 - 郑泽宇; 罗谦; 徐开凯; 刘钟远; 朱坤峰 (光电工程, 2021)
Keywords: 全硅PIN光电探测器; 量子效率; 光响应度; 暗电流; 黑硅; 响应速度