图案化In2O3:Sn薄膜制备及显影剂对图案制备的影响研究 - 任洋; 贺海燕; 赵高扬; 王允威 (功能材料, 2021)
Keywords: ITO薄膜; 显影剂; 溶胶-凝胶法; 图案化