TiO2薄膜型气敏传感器研究进展

O6-1; TiO2纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于T iO2半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注.本文综述了当前国内外TiO2气敏传感器的研究进展,重点介绍了TiO2薄膜型气敏传感器在H2,NH3,H2S,VOC,CO,SO2六种常见还原性气体和CO2,Nox两种常见氧化性气体检测方面的应用,就其传感性能、传感机理进行了讨论,并展望了T iO2薄膜型气敏传感器研究的未来发展趋势,如通过向T iO2中掺杂导电微粒、贵金属或金属氧化物等以改良其性能,以期为新型气敏传感器的研究提供参...

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Published in材料工程 Vol. 48; no. 10; pp. 28 - 38
Main Authors 金嘉炜, 李国臣, 张冶, 李公义, 楚增勇
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 国防科技大学生物与化学系 ,长沙410072 20.10.2020
Subjects
纳米薄膜型
气敏传感器
传感机理
传感性能
TiO2
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ISSN1001-4381
DOI10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000515

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Summary:O6-1; TiO2纳米薄膜型气敏传感器具有制备方法简单、灵敏度高、一致性好、小型化等优点,且由于T iO2半导体的宽能带使其能够通过涂覆修饰其他元素使传感器性能得到大幅度提高,如今已经越来越受到研究者们的广泛关注.本文综述了当前国内外TiO2气敏传感器的研究进展,重点介绍了TiO2薄膜型气敏传感器在H2,NH3,H2S,VOC,CO,SO2六种常见还原性气体和CO2,Nox两种常见氧化性气体检测方面的应用,就其传感性能、传感机理进行了讨论,并展望了T iO2薄膜型气敏传感器研究的未来发展趋势,如通过向T iO2中掺杂导电微粒、贵金属或金属氧化物等以改良其性能,以期为新型气敏传感器的研究提供参考.
ISSN:1001-4381
DOI:10.11868/j.issn.1001-4381.2019.000515