基于改进六步翻转法的平行平板面形及均匀性绝对检测方法 - 张帅; 全海洋; 侯溪; 胡小川; 吴高峰 (光电工程, 2021)
Keywords: 不确定度评估; 绝对检测; 干涉计量; 光学检测