基于环氧复制法的光学反射镜制备技术研究

TH74; 环氧复制法利用环氧树脂将抛光母模的高精度表面复制至镜坯,这是一种高效率低成本制备光学反射镜的方法.由于树脂的材料特性,复制面形精度随着反射镜口径的增大而迅速降低,并且在脱模后没有有效的面形精修方法.本文首先利用有限元分析方法仿真了环氧复制过程,提出了一种针对母模的优化设计方法,提高了环氧复制法的精度.然后研制了一种具有多层结构的金属薄膜,利用磁流变修形技术将复制后的薄膜表面加工至更高的面形精度.最后利用环氧复制法分别在5天和10天内制备了Φ180 mm抛物面反射镜和Φ500 mm平面反射镜,面形RMS均小于20 nm,表面粗糙度Rq均为0.6 nm....

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Bibliographic Details
Published in光电工程 Vol. 48; no. 8; pp. 19 - 30
Main Authors 张颖, 刘红, 陈小安, 闵攀, 罗瑞
Format Journal Article
LanguageChinese
Published 中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209 15.08.2021
中国科学院大学,北京 100049%中国科学院光电技术研究所,四川 成都 610209
Subjects
面形
反射镜
环氧复制
光学加工
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ISSN1003-501X
DOI10.12086/oee.2021.210069

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Summary:TH74; 环氧复制法利用环氧树脂将抛光母模的高精度表面复制至镜坯,这是一种高效率低成本制备光学反射镜的方法.由于树脂的材料特性,复制面形精度随着反射镜口径的增大而迅速降低,并且在脱模后没有有效的面形精修方法.本文首先利用有限元分析方法仿真了环氧复制过程,提出了一种针对母模的优化设计方法,提高了环氧复制法的精度.然后研制了一种具有多层结构的金属薄膜,利用磁流变修形技术将复制后的薄膜表面加工至更高的面形精度.最后利用环氧复制法分别在5天和10天内制备了Φ180 mm抛物面反射镜和Φ500 mm平面反射镜,面形RMS均小于20 nm,表面粗糙度Rq均为0.6 nm.
ISSN:1003-501X
DOI:10.12086/oee.2021.210069