APA (7th ed.) Citation

Kim), 김. H., Choi), 최. W., Kang), 강. M., Karakin), 안., & Lim), 임. T. (2018). 웨이퍼 표면의 Si₃N₄ 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정. Clean Technology, 24(3), 24(3), 157-165.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Kim), 김용훈(Yong Hun, 최해원(Hae Won Choi), 강기문(Ki Moon Kang), 안톤커랴킨(Anton Karakin), and 임권택(Kwon Teak Lim). "웨이퍼 표면의 Si₃N₄ 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정." Clean Technology, 24(3) 24, no. 3 (2018): 157-165.

MLA (9th ed.) Citation

Kim), 김용훈(Yong Hun, et al. "웨이퍼 표면의 Si₃N₄ 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정." Clean Technology, 24(3), vol. 24, no. 3, 2018, pp. 157-165.