DMD 빔 투과 광학계 개선을 위한 서브 마이크론급 압전 정렬 기술 개발 - 홍민성(Min Sung Hong); 이형규(Hyung Ku Lee); 박종서(Jong Seo Park) (한국생산제조학회지, 2017)
Keywords: 기계공학; Aperture array; Alignment; Exposure; Non-mask; Piezoelectric