RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조 및 광학적 특성 - 김동렬(Dong Ryeol Kim); 배지환(Ji Hwan Bae); 황동현(Dong Hyun Hwang); 손영국(Young Guk Son) (Biuletyn Uniejowski, 2015)
Keywords: 기계공학; thin film; ITZO; transmittance; RF Magnetron sputtering