Linear Ion Source를 이용한 Anode Voltage 변화에 따른 DLC 박막특성 - 김왕렬(Wang Ryeol Kim); 정우창(Uoo Chang Jung); 조형호(Hyung Ho Jo); 박민석(Min Suk Park); 정원섭(Won Sub Chung) (Biuletyn Uniejowski, 2009)
Keywords: 기계공학; Linear ion source; DLC; Anode voltage; Hardness; PVD