원자층증착법으로 증착된 강유전성 플루오라이트 구조 강유전체 박막의 불순물 효과 - 이동현(Dong Hyun Lee); 양건(Kun Yang); 박주용(Ju Yong Park); 박민혁(Min Hyuk Park) (Biuletyn Uniejowski, 2020)
Keywords: 기계공학; HfO; Ferroelectric; Impurity; ZrO; Polymorphism; HfO_2; ZrO_2