반응가스 비율에 따른 탄소나노월의 성장특성 - 김성윤(Sung-Yun Kim); 강현일(Hyunil Kang); 최원석(Won Seok Choi); 정연호(Yeun-Ho Joung); 임윤식(Yonnsik Lim); 유영식(Youngsik Yoo); 황현석(Hyun Suk Hwang); 송우창(Woo-Chang Song) (전기학회 논문지 P권, 63(4), 2014)
Keywords: 전기공학; Carbon nanowall (CNW); Reaction gas ratio; Microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD); Growth properties