건식 및 습식 염소가스 환경에서 노출된 반도체 공정용 316L 스테인리스강의 부식 특성 평가 - 정우철; Woo-chul Jung; 한덕현; Deokhyun Han; 공만식; Man-sik Kong (Corrosion science and technology, 2025)
Keywords: 316L Stainless steel; Chlorine gas; Corrosion; Electropolishing; Semiconductor industry; 금속공학; Chlorine gas; Corrosion; 316L Stainless steel; Electropolishing; Semiconductor industry