ECR 플라즈마에 의한 알루미늄 질화처리시 표면조도의 영향 - 김진수(Jin-Soo Kim); 안재현(Jae-Hyun Ahn); 고경헌(Kyung-Hyun Ko); 오수기(Soo-Ghee Oh) (Biuletyn Uniejowski, 1991)