ITO 박막의 공정변수에 따른 특성 연구 - 김소라(So-Ra Kim); 서정은(Jung-Eun Seo); 김상호(Sang-Ho Kim) (Biuletyn Uniejowski, 2004)
Keywords: 기계공학; RF Sputtering; Transmittance; Sheet resistance; Process parameters; Indium Tin Oxide (ITO)