低エネルギーイオンエッチングを用いたビットパターン媒体用1Tdot/in2級 Co-Ptドットアレイの作製 - 長谷川, 崇; 近藤, 祐治; 千葉, 隆; 本多, 直樹; 有明, 順; 河村, 直己; 田口, 香; 石尾, 俊二; MOHAMAD, Zulfakri Bin; 保坂, 純男; 鈴木, 基寛 (Journal of the Magnetics Society of Japan, 2010)