超短パルスレーザ誘起内部変質によるダイヤモンドスライス加工 - 伊東, 翔; 佐藤, 正隆; 松坂, 壮太; 徳永, 大二郎; 比田井, 洋史; 尾松, 孝茂 (砥粒加工学会誌, 2023)