APA (7th ed.) Citation

村山, 健., 長澤, 潔., 森本, 高., & 保坂, 純. (2006). 大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第1報, 粗微動併用XYステージの応用. 日本機械学会論文集 C編, 72(720), 2507-2511. https://doi.org/10.1299/kikaic.72.2507

Chicago Style (17th ed.) Citation

村山, 健, 潔 長澤, 高史 森本, and 純男 保坂. "大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第1報, 粗微動併用XYステージの応用." 日本機械学会論文集 C編 72, no. 720 (2006): 2507-2511. https://doi.org/10.1299/kikaic.72.2507.

MLA (9th ed.) Citation

村山, 健, et al. "大型ウエハ対応・原子間力顕微鏡の研究: 第1報, 粗微動併用XYステージの応用." 日本機械学会論文集 C編, vol. 72, no. 720, 2006, pp. 2507-2511, https://doi.org/10.1299/kikaic.72.2507.