ナノ・マイクロファブリケーションとしての電鋳技術

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Published inJournal of MMIJ Vol. 140; no. 1; pp. 1 - 7
Main Authors 永山, 富男, 山本, 貴代
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 資源・素材学会 31.01.2024
Subjects
Fe-Ni 合金
MEMS
ナノ・マイクロファブリケーション
電鋳
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ISSN1881-6118
1884-0450
DOI10.2473/journalofmmij.140.1

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ISSN:1881-6118
1884-0450
DOI:10.2473/journalofmmij.140.1