収差補正STEM-EDSによる原子分解能マッピング - 奥西, 栄治; 大西, 市朗 (顕微鏡, 2012)
収差補正STEMの登場によりEELSと組み合わせた原子分解能マッピングによる原子コラム分析が多く報告されている．一方EDSにおいてはその検出立体角の低さから原子コラムマッピングは困難な場合が多い．最近この検出立体角を向上させた100 mm2SDDが新しい検出器として開発された．本研究では100 mm2SDDを用い，SrTiO3，RB3021といった酸化物材料から原子コラムマップを取得したので報告する．