焦電結晶を用いた小型EPMAによる軽元素の分析

我々が過去に開発した，焦電結晶上に導電性の針を立てた小型電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）による分析では，Siを含まない試料でもSiの特性X線が検出されていた．X線取り出し窓に用いていたカプトンテープを粘着剤が使われていないカプトンフィルムに換え，針を立てる台の表面に塗布した真空用グリースをカプトンフィルムとPPC用紙で覆うことで，SiのX線を防ぐことができた．改良を施した装置を用いて製鋼スラグと硫化ニッケル（NiS）のEDXスペクトルを測定したところ，製鋼スラグの分析では，帯電防止処理をせずに主成分であるAl, Ca, Mn, およびFeを検出することができ，硫化ニッケルの分析ではN...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published inＸ線分析の進歩 Vol. 45; pp. 191 - 195
Main Authors 河合, 潤, 今宿, 晋, 大谷, 一誓
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 公益社団法人 日本分析化学会　X線分析研究懇談会 31.03.2014
Subjects
焦電結晶
軽元素分析
電子プローブマイクロアナライザ
Online AccessGet full text
ISSN0911-7806
2758-3651
DOI10.57415/xshinpo.45.0_191

Cover

More Information
Summary:我々が過去に開発した，焦電結晶上に導電性の針を立てた小型電子プローブマイクロアナライザ（EPMA）による分析では，Siを含まない試料でもSiの特性X線が検出されていた．X線取り出し窓に用いていたカプトンテープを粘着剤が使われていないカプトンフィルムに換え，針を立てる台の表面に塗布した真空用グリースをカプトンフィルムとPPC用紙で覆うことで，SiのX線を防ぐことができた．改良を施した装置を用いて製鋼スラグと硫化ニッケル（NiS）のEDXスペクトルを測定したところ，製鋼スラグの分析では，帯電防止処理をせずに主成分であるAl, Ca, Mn, およびFeを検出することができ，硫化ニッケルの分析ではNiとSを検出することができた．低エネルギーのX線は大気と装置に用いたカプトンフィルムによって減衰し，強度が低下した．
ISSN:0911-7806
2758-3651
DOI:10.57415/xshinpo.45.0_191