波長合成技術を用いた高ビーム品質GaN系ダイレクトダイオードレーザー加工 - 能崎, 信一郎; 菱田, 光起; 深草, 雅春; 永井, 秀一; 片山, 琢磨; 中村, 亘志; 古賀, 稔浩; 瀧川, 信一; 山口, 秀雄; 市橋, 宏基 (レーザ加工学会誌, 2021)