ファインエレクトロフォーミング
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          | Published in | 表面技術 Vol. 51; no. supplement; pp. 33 - 38 | 
|---|---|
| Main Author | |
| Format | Journal Article | 
| Language | Japanese | 
| Published | 
            一般社団法人 表面技術協会
    
        2000
     | 
| Online Access | Get full text | 
| ISSN | 0915-1869 1884-3409  | 
| DOI | 10.4139/sfj.51.supplement_33 | 
Cover
| Author | 小林, 道雄 | 
    
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| EISSN | 1884-3409 | 
    
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| Publisher | 一般社団法人 表面技術協会 | 
    
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| References | 4) Guide to Nickel Electroforming, インコ・リミテッド 3) Nickel Development Institute/NiDI Technical Serise カタログ 6) 吉田裕道; マイクロマシンの製造技術/東京都立工業技術センター, 2, p. 1 (1998 10) MEIKI Co. Ltd カタログ, 1999 1) 伊勢秀夫; 電鋳技術と応用, P. 341 (1996 5) R.T. Howe, R.S. Mulle, K.J. Gabriel, S.N. Trimmer; Silicon micromechanics: Sensors and actuators on a chip, IEEE, Spectrum, pp. 29-35, July 1990 7) 藤田博之, 小林大; マイクロマシーンとLIGA技術, 機能性非晶質めっき専門部会, 31, (1993 8) 碓井稔: ファインケミカルVol. 24, No. 6 (1995 2) 安部保之; 実務表面技術, 35, 8, 423 (1988 9) 日立マクセル「エレクトロ・ファイン・フォーミング」カタログ, 9. 1999  | 
    
| References_xml | – reference: 7) 藤田博之, 小林大; マイクロマシーンとLIGA技術, 機能性非晶質めっき専門部会, 31, (1993) – reference: 6) 吉田裕道; マイクロマシンの製造技術/東京都立工業技術センター, 2, p. 1 (1998) – reference: 1) 伊勢秀夫; 電鋳技術と応用, P. 341 (1996) – reference: 5) R.T. Howe, R.S. Mulle, K.J. Gabriel, S.N. Trimmer; Silicon micromechanics: Sensors and actuators on a chip, IEEE, Spectrum, pp. 29-35, July 1990 – reference: 8) 碓井稔: ファインケミカルVol. 24, No. 6 (1995) – reference: 9) 日立マクセル「エレクトロ・ファイン・フォーミング」カタログ, 9. 1999 – reference: 3) Nickel Development Institute/NiDI Technical Serise カタログ – reference: 10) MEIKI Co. Ltd カタログ, 1999 – reference: 4) Guide to Nickel Electroforming, インコ・リミテッド – reference: 2) 安部保之; 実務表面技術, 35, 8, 423 (1988)  | 
    
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