大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討） - 本多, 歩; 岡畑, 豪; 北嶋, 孝之; 伊東, 利洋; 楠山, 純平; 由井, 明紀; H., Slocum A. (日本機械学会論文集, 2016)
Keywords: Fluid analysis; High stiffness; Load capacity; Rotary table grinding machine; Water hydrostatic bearing