大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討）

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Published in日本機械学会論文集 Vol. 82; no. 842; p. 16-00190
Main Authors 本多, 歩, 岡畑, 豪, 北嶋, 孝之, 伊東, 利洋, 楠山, 純平, 由井, 明紀, H., Slocum A.
Format Journal Article
LanguageJapanese
Published 一般社団法人 日本機械学会 2016
Subjects
Fluid analysis
High stiffness
Load capacity
Rotary table grinding machine
Water hydrostatic bearing
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ISSN2187-9761
DOI10.1299/transjsme.16-00190

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DOI:10.1299/transjsme.16-00190