APA (7th ed.) Citation

本多, 歩., 岡畑, 豪., 北嶋, 孝., 伊東, 利., 楠山, 純., 由井, 明., & H., S. A. (2016). 大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討）. 日本機械学会論文集, 82(842), 16-00190. https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00190

Chicago Style (17th ed.) Citation

本多, 歩, 豪 岡畑, 孝之 北嶋, 利洋 伊東, 純平 楠山, 明紀 由井, and Slocum A. H. "大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討）." 日本機械学会論文集 82, no. 842 (2016): 16-00190. https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00190.

MLA (9th ed.) Citation

本多, 歩, et al. "大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討）." 日本機械学会論文集, vol. 82, no. 842, 2016, pp. 16-00190, https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00190.