大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第２報：切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討） - 本多, 歩; X., Lu; 北嶋, 孝之; 楠山, 純平; 岩橋, 伸太郎; 伊東, 利洋; 由井, 明紀; H., Slocum A. (日本機械学会論文集, 2017)