実環境下でのプロセス・特性評価のための収差補正・環境制御型透過電子顕微鏡とその応用

• Published in: 顕微鏡 Vol. 46; no. 1; pp. 20 - 23
• Main Authors: 竹田, 精治, 吉田, 秀人, 桒内, 康文
• Format: Journal Article
• Language: Japanese
• Published: 公益社団法人 日本顕微鏡学会 30.03.2011
• Subjects: カーボンナノチューブ; 収差補正; 環境制御型透過電子顕微鏡; 白金触媒; 触媒
• ISSN: 1349-0958; 2434-2386
• DOI: 10.11410/kenbikyo.46.1_20

高分解能・高圧力タイプの環境セルと対物レンズの収差補正を組み合わせて，気体中の固体の振る舞いを原子スケールで観察できる収差補正・環境制御型透過電子顕微鏡（ETEM）を紹介する．本ETEMは従来よりも高圧力で高分解能観察が可能である．さらに，各種気体の切り替えを高速化させて，再現性のある安定した気体雰囲気下で試料を観察できる．本ETEMは，気体中で機能中の金属ナノ粒子触媒の観察に代表される　1）原子スケールでの機能の評価，およびカーボンナノチューブの気相成長などに代表される　2）物質合成プロセスの評価，などの「実環境下でのプロセス・特性評価への応用」が期待されている．また，本ETEMではETEM観察と通常の透過電子顕微鏡（TEM）／走査透過電子顕微鏡（STEM）観察の切り替えが容易であり，ETEM観察の前後で対物レンズの球面収差が補正された高性能分析STEM/TEMとしての利用も可能である．