200°C以上での SiC 駆動を想定したAl ワイヤーボンディング信頼性 - 谷本, 智; 佐藤, 伸二; 谷澤, 秀和; 佐藤, 伸二; 松井, 康平; 佐々木, 健介; 佐々木, 健介; 谷本, 智; 谷澤, 秀和; 松井, 康平; 村上, 善則; 村上, 善則; et al. (スマートプロセス学会誌, 2013)