分子動力学法による溶融シリコンの輸送現象の理解 - 柿本, 浩一 (熱物性, 1994)
結晶育成時における物質輸送の基礎物性定数である溶融半導体の自己拡散係数を分子動力学法により求めた. 原子に働く力を計算する場合は, 経験的ポテンシャルである修正Stillinger-Weberポテンシャルを用いた. この結果, 従来実験的には求められていなかった自己拡散係数は, 10-4cm2/sのオーダであることを予測した。