电磁场模拟磁控溅射装置中磁场的空间分布 - 王晓明 高健波 周艳文 (实验室研究与探索, 2016)
Keywords: 数值模拟; 磁场分布; 磁控溅射; 磁场分布; magnetron sputtering; magnetic field distribution; 数值模拟; 磁控溅射; numerical simulation