Influence of Boron doping on microcrystalline silicon growth - 李新利 陈永生 杨仕娥 谷锦华 卢景霄 郜小勇 李瑞 焦岳超 高海波 王果 (Chinese physics B, 2011)
Keywords: Boron; Doping; Evolution; Exponents; Plasma enhanced chemical vapor deposition; Silicon; Silicon films; Thin films; 原子力显微镜; 微晶硅; 椭偏光谱; 硼掺杂; 等离子体增强化学气相沉积法; 粗糙度指数; 薄膜生长; 表面粗糙度