Hydrogenation of zirconium film by implantation of hydrogen ions - 刘洋 方开洪 吕会议 刘际伟 王博宇 (Plasma science & technology, 2017)
Keywords: ion implantation; phase change; X射线衍射仪; zirconium film; zirconium hydride; 原子力显微镜; 扫描电子显微镜; 氢化物; 氢化锆; 氢离子注入; 相互作用机制; 金属膜