A susceptor with a ∧-shaped slot in a vertical MOCVD reactor by induction heating - 李志明 李海玲 甘小冰 江海鹰 李金屏 付小倩 韩延彬 夏英杰 尹建芹 黄艺美 胡仕刚 (Journal of semiconductors, 2014)
Keywords: MOCVD; 不均匀; 反应器; 垂直; 感应加热; 接受器; 气相沉积; 温度分布