Sensitive properties of In-based compound semiconductor oxide to Cl2 gas - 赵文杰 施云波 修德斌 雷廷平 冯侨华 王立全 (Journal of semiconductors, 2009)
Keywords: 化合物; 半导体氧化物; 含氯气体; 基础; 扫描电子显微镜; 敏感性; 最低浓度; 特性