基于SOI的光波导和V形槽集成器件 - 程振杰; 彭治林 (Guangtongxin Yanjiu, 2003)
文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件。设计了5μm×5μm的单模光波导,并用APSS软件进行了光场模式分析;利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;最后,利用紫外光敏胶将波导和光纤固定。