Microstructure and electrical properties of CeO2 ultra-thin films for MFIS FeRAM applications - 唐明华 周益春 郑学军 魏秋平 成传品 叶志 胡增顺 (Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2007)
Keywords: 二氧化铈超薄膜; 介电性能; 射频磁电管反应溅射法; 微观结构