Temperature dependences of optical properties, chemical composition, structure, and laser damage in Ta2O5 films - 许程 杨帅 张生辉 牛继南 强颖怀 刘炯天 李大伟 (中国物理B：英文版, 2012)
Keywords: Ta2O5; X射线衍射分析; 光学性能; 化学成分; 氮化钽薄膜; 沉积温度; 激光损伤阈值; 结构