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웨이퍼 표면의 Si₃N₄ 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정
김용훈(Yong Hun Kim), 최해원(Hae Won Choi), 강기문(Ki Moon Kang), 안톤커랴킨(Anton Karakin), 임권택(Kwon Teak Lim)
Published in Clean Technology, 24(3) (01.09.2018)
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Published in Clean Technology, 24(3) (01.09.2018)
Journal Article