rdf-syntax-grammar
mods:
  schema location: http://www.loc.gov/mods/v3 http://www.loc.gov/standards/mods/v3/mods-3-2.xsd
  title info:
    title: Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu
  title info:
    title: Preparation of Structures Through a Polymer Resist Mask
  name:
    name part: Dvořák, Zdeněk
    role:
      role term: creator
    role:
      role term: dis
  name:
    name part: Urbánek, Michal
    role:
      role term: ths
  name:
    name part: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
    role:
      role term: dgg
  name:
    name part: Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
    role:
      role term: dgg
  type of resource: text
  genre: bakalářská práce
  origin info:
    date issued: 2024
    issuance: monographic
  language:
    language term: cze
  physical description:
    extent: 62 s.
  note: Studijní obor: Materiálové inženýrství
  note: Studijní obor: Material Engineering
  note: Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
  note: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
  note: Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
  note: Bez omezení
  subject:
    topic: litografické techniky
  subject:
    topic: elektronová litografie
  subject:
    topic: lift-off proces
  subject:
    topic: polymerní rezist
  subject:
    topic: lithographic techniques
  subject:
    topic: electron-beam lithography
  subject:
    topic: lift-off process
  subject:
    topic: polymer resist
  identifier: http://hdl.handle.net/10563/55270
  access condition: Bez omezení
  record info:
    record identifier: zp67992