Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu - Dvořák, Zdeněk (2024)
Studijní obor: Materiálové inženýrství
Studijní obor: Material Engineering
Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
Keywords: litografické techniky; elektronová litografie; lift-off proces; polymerní rezist; lithographic techniques; electron-beam lithography; lift-off process; polymer resist; bakalářská práce