Staff View: Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu

Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	Dvořák, Zdeněk (Dissertant)
Other Authors:	Urbánek, Michal (Thesis advisor)
Format:	Manuscript
Language:	Czech
Published:	2024
Subjects:	litografické techniky elektronová litografie lift-off proces polymerní rezist lithographic techniques electron-beam lithography lift-off process polymer resist bakalářská práce
Physical Description:	62 s.


LEADER	01254ntm a22003377u 4500
001	zp67992
041			\|a cze
100	1		\|a Dvořák, Zdeněk \|4 dis
245	1	0	\|a Příprava struktur přes masku z polymerního rezistu
246			\|a Preparation of Structures Through a Polymer Resist Mask
260			\|c 2024
300			\|a 62 s.
500			\|a Studijní obor: Materiálové inženýrství
500			\|a Studijní obor: Material Engineering
500			\|a Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
500			\|a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
500			\|a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
506			\|a Bez omezení
653			\|a litografické techniky
653			\|a elektronová litografie
653			\|a lift-off proces
653			\|a polymerní rezist
653			\|a lithographic techniques
653			\|a electron-beam lithography
653			\|a lift-off process
653			\|a polymer resist
655		4	\|a bakalářská práce
700	1		\|a Urbánek, Michal \|4 ths
710	2		\|a Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická \|4 dgg
710	2		\|a Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology \|4 dgg
856	4	0	\|u http://hdl.handle.net/10563/55270 \|y Plný text v Digitální knihovně UTB