Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem - Navrátil, Jaroslav (2022)
Studijní obor: Materiálové inženýrství
Studijní obor: Materials Engineering
Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
Keywords: Elektronová litografie; polymerní rezist; proces vyvolání; optická mikroskopie; mechanická profilometrie; Sigma Aldrich fotorezist; KMPR 1010; Electron beam lithography; polymer resist; process of resist development; optical microscopy; mechanical profilometry; Sigma Aldrich photoresist; diplomová práce