Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie - Navrátil, Jaroslav (2020)
Studijní obor: Materiálové inženýrství
Studijní obor: Materials Engineering
Ústav: Ústav fyziky a mater. inženýrství
Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Tomas Bata University in Zlín. Faculty of Technology
Keywords: Elektronová litografie; polymerní rezist; proces vyvolání; kontrast rezistu; optická mikroskopie; mechanická profilometrie; AFM; Electron-beam lithography; polymer resist; process of resist development; contrast of resist; optical microscopy; mechanical profilometry; bakalářská práce