Reliability of MEMS : testing of materials and devices

Saved in:
Bibliographic Details
Other Authors: Tabata, Osamu, 1956- (Editor), Tsuchiya, Toshiyuki (Editor)
Format: Book
Language: English
Published: Weinheim : Wiley-VCH, [2013]
Edition: [New edition]
Series: Advanced micro & nanosystems
Subjects:
ISBN: 9783527335015
978-3-527-67503-6
Physical Description: xx, 303 stran : černobílé ilustrace ; 25 cm

Cover

Table of contents

LEADER 01963nam a2200517 i 4500
001 77669
003 CZ ZlUTB
005 20240829154723.0
007 ta
008 150515t20132013gw a 001 0 eng d
020 |a 9783527335015  |q (brožováno) 
020 |z 978-3-527-67503-6  |q (ePDF) 
040 |a ZLD002  |b cze  |e rda 
072 7 |a 621.38  |x Elektronika  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 621.38.049.77-022.53  |2 MRF 
080 |a 62-027.45  |2 MRF 
080 |a 621.38:005.935.33  |2 MRF 
080 |a 620.1  |2 MRF 
080 |a (082)  |2 MRF 
245 0 0 |a Reliability of MEMS :  |b testing of materials and devices /  |c edited by Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya 
250 |a [New edition] 
264 1 |a Weinheim :  |b Wiley-VCH,  |c [2013] 
264 4 |c ©2013 
300 |a xx, 303 stran :  |b černobílé ilustrace ;  |c 25 cm 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a bez média  |b n  |2 rdamedia 
338 |a svazek  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Advanced micro & nanosystems 
504 |a Obsahuje bibliografické odkazy a rejstřík 
650 0 7 |a mikroelektromechanické systémy  |7 ph602137  |2 czenas 
650 0 7 |a spolehlivost (technika)  |7 ph125917  |2 czenas 
650 0 7 |a testování elektronických systémů  |7 ph330269  |2 czenas 
650 0 7 |a zkoušení materiálů  |7 ph116776  |2 czenas 
650 0 9 |a microelectromechanical systems  |2 eczenas 
650 0 9 |a reliability (engineering)  |2 eczenas 
650 0 9 |a testing of electronic systems  |2 eczenas 
650 0 9 |a material testing  |2 eczenas 
655 7 |a sborníky  |7 fd163935  |2 czenas 
655 9 |a papers of several authors  |2 eczenas 
700 1 |a Tabata, Osamu,  |d 1956-  |7 stk2009477323  |4 edt 
700 1 |a Tsuchiya, Toshiyuki  |7 stk2009477322  |4 edt 
830 0 |a Advanced micro & nanosystems 
910 |a ZLD002 
992 |a BK  |b SK 
999 |c 77669  |d 77669 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 62138RELIABILITY  |7 0  |8 BOOK  |9 133470  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 005  |d 2015-05-15  |o 621.38/RELIABILITY  |p 420010159305  |r 2019-08-26  |v 1923.00  |w 2019-08-26  |x N:nákup;  |y 01