Handbook of semiconductor manufacturing technology

Saved in:
Bibliographic Details
Other Authors: Doering, Robert, 1946- (Editor), Nishi, Yoshio, 1940- (Editor)
Format: Book
Language: English
Published: Boca Raton : CRC Press, c2008
Edition: 2nd ed.
Subjects:
ISBN: 9781574446753 1-57444-675-4
Physical Description: 1 sv. (různé stránkování) : il. ; 27 cm

Cover

Table of contents

LEADER 01875cam a2200445 a 4500
001 69929
003 CZ ZlUTB
005 20190826005132.0
007 ta
008 061219s2008 xxua f 001 0 eng
020 |a 9781574446753  |q (váz.)  |q (váz.)  |z 1-57444-675-4 
035 |a (OCoLC)ocm77476656 
035 |a (OCoLC)77476656 
040 |a DLC  |b cze  |c DLC  |d BAKER  |d BTCTA  |d UKM  |d C#P  |d YDXCP  |d IXA  |d DLC  |d ZLD002 
072 7 |a 621.3  |x Elektrotechnika  |2 Konspekt  |9 19 
080 |a 621.315.59  |2 MRF 
080 |a 621.382  |2 MRF 
080 |a (035)  |2 MRF 
245 0 0 |a Handbook of semiconductor manufacturing technology /  |c edited by Robert Doering, Yoshio Nishi 
246 3 0 |a Semiconductor manufacturing technology 
250 |a 2nd ed. 
260 |a Boca Raton :  |b CRC Press,  |c c2008 
300 |a 1 sv. (různé stránkování) :  |b il. ;  |c 27 cm 
504 |a Obsahuje bibliografie a rejstřík 
650 0 7 |a polovodiče  |7 ph124272  |2 czenas 
650 0 7 |a polovodičové součástky  |7 ph115802  |2 czenas 
650 0 9 |a semiconductors  |2 eczenas 
650 0 9 |a semiconductor components  |2 eczenas 
655 7 |a příručky  |7 fd133209  |2 czenas 
655 9 |a handbooks, manuals, etc  |2 eczenas 
700 1 |a Doering, Robert,  |d 1946-  |7 utb2014813264  |4 edt 
700 1 |a Nishi, Yoshio,  |d 1940-  |7 utb2014813265  |4 edt 
856 4 1 |3 Obsah  |u http://www.loc.gov/catdir/toc/ecip077/2006102599.html 
856 4 2 |3 Anotace  |u http://www.loc.gov/catdir/enhancements/fy0626/2006102599-d.html 
910 |a ZLD002 
992 |a BK  |b SK  |d 1 
993 |a 201403  |b 19 
999 |c 69929  |d 69929 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 6213HANDBOOK  |7 0  |8 BOOK  |9 127068  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 005  |d 2015-03-03  |o 621.3/HANDBOOK  |p 420010158571  |r 2019-08-26  |v 6397.00  |w 2019-08-26  |x N: nákup;  |y 01 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 6213HANDBOOK  |7 0  |8 BOOK  |9 127069  |a UTBZL  |b UTBZL  |c 007  |d 2014-03-24  |l 1  |o 621.3/HANDBOOK  |p 420010153590  |r 2019-08-26  |v 5211.00  |w 2019-08-26  |x N:nákup;  |y 08