Handbook of semiconductor manufacturing technology

• Other Authors: Doering, Robert, 1946- (Editor), Nishi, Yoshio, 1940- (Editor)
• Format: Book
• Language: English
• Published: Boca Raton : CRC Press, c2008
• Edition: 2nd ed.
• Subjects: polovodiče; polovodičové součástky; semiconductors; semiconductor components; příručky; handbooks, manuals, etc
• ISBN: 9781574446753 1-57444-675-4
• Physical Description: 1 sv. (různé stránkování) : il. ; 27 cm